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Elaboration d’oxydes et de sulfures à grande bande interdite pour les cellules photovoltaïques à base de Cu(In,Ga)Se2 par dépôt chimique en phase vapeur par flux alternés (ALD) activé par plasma
Cathy Bugot
couches
plasma
cellules
croissance
minces
température
couche
cigs
zno
figure
propriétés
h2s
peald
synthèse
présente
composition
matériau
surface
d’oxygène
acac
cellule
d’in2
layer
mécanismes
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deposition
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précurseurs
tdep
vitesse
cycles
l’in2s3
in2s3
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